2026-07-29 11:32:21
芯片制造场景下的万级净化车间,核心要求是将每立方米空气中≥0.5μm的尘埃粒子控制在35万个以内,通过多维度管控实现微米级尘埃的严格防控,具体方案如下:
将车间划分为生产区、物料区、缓冲区等不同洁净等级区域,各区域之间设置气闸室或风淋室,通过压差控制让气流从高洁净区流向低洁净区,从根源上避免交叉污染,阻挡外部微米级尘埃侵入核心生产区。
地面选用防静电、无缝隙的环氧地坪或PVC地板,墙面、吊顶采用平整无缝的彩钢板,所有拼接位置做密封处理,从硬件层面减少积尘死角,避免设备、建筑自身产生微米级尘埃。